供应及回收二手真空镀膜机二手真空连续镀膜线

主要规格及技术参数
2.1 镀膜室尺寸: (宽*深*高) 800MM*800MM*860MM
2.2 极限压力: ≤3*10-4pa
2.3 恢复真空抽气时间: ≤15min
2.4 镀膜室升压率: ≤0.8Pa/h
2.5 蒸发源:
磁偏转e型电子枪 QE6-20/4B (光偶定位)1套
功率: 6KW
2.6 射频轰击: 功率1000W
2.7 工件架: 公自转夹具
2.8 工件旋转: (5-25)r/min 转速连续可调
2.9 烘烤: 碘钨灯烘烤,烘烤温度≤300℃
2.10 真空系统:
a)K-600A 扩散泵(氟里昂冷阱,制冷单元用户自备)
b)ZJY-150A 罗茨泵
c)2X-70 真空泵
d)2X-15 真空泵
2.11膜厚控制:预留安装孔
2.12水路: 采用标准城市饮用水或质量相当的水,进水温度不**25℃,水压不小于(2-2.5)* Pa
2.13 压缩空气: 清洁干燥气体,压力(5-7)* Pa
2.14 总工率: ~36KW 三相四线制380VAC 50HZ
3. 结构说明
3.1 本设备由下列部分组成
a)ZZSX-800E 主机 1台
b)真空操作柜 1套
c)DEF-6H 电子枪电源柜 1台
主机由机架,镀膜室,真空系统组成.
3.2 机架为长方体,架体由钢板和型材焊接组成.镀膜室装在机架上面,水冷单元和气动控制部分安装在机架后方.
3.3 镀膜室为立式前开门结构,全不锈钢材料制作,内表面抛光处理,外表面喷丸处理.镀膜室和门外壁焊有冷却水道.门上有两面个观察窗,下侧观察窗内装有活动挡板,硬质玻璃外面有一层铅玻璃以防X射线的辐射,里面为一层保护玻璃用弹簧卡圈固定,污染后可随时将其拆下清洗后再装上.外部装有暗色玻璃以保护眼睛.镀膜室底板上装有电子枪,气动挡板机构,碘钨灯烘烤装置以及备用孔.工作旋转驱动由**部引入,镀膜室内壁有可拆卸的不锈钢屏蔽板,便于清理膜屑.真空测量的规头既可装在镀膜定**部也可装在高阀上.
3.4真空系统由扩散泵,冷阱,高阀,前级阀,预抽阀,旁路阀,罗茨泵.前级泵,维持泵以及真空管道组成,手动操作.
3.5 电子枪以及相应的操作柜,请参照各自的使用说明书.
3.6电子柜是标准19英寸机架.它由真空控制,旋转控制及轰击控制等部分组成,各阀门控制是交流220V.真空操作为手动控制方式.
3.6.1 真空控制:采用按键开关和继电器作为控制元件.
3.6.2 旋转控制:采用变频调速器,实现工件架的无级调速,接通旋转电源,调节变频调速器,工件架平稳起动达到需要的转速停止.工作完毕关闭旋转电源.